・ 国内最大級120Kgクラスの大型サファイア単結晶
・ 大型・高歩留まり結晶育成技術の確立により高品質・低価格を実現
・ 熟練した技術・X線方位測定機の導入により高い加工精度を実現
・ 結晶育成～インゴット加工～ウェハー加工まで
・ 全て自社工場および国内協力企業で一貫生産し安定供給が可能
少LOTやカスタム仕様にも柔軟に対応致します。
研究・実験用途、評価サンプルのご提供等もご相談ください。
| サファイアウェハー仕様 | |
|---|---|
| 純度 | >99.99% |
| ウェハーサイズ | 2,4,6インチ（8インチ～応相談） |
| ウェハー厚み | 任意の厚さに指定可能 |
| 結晶方位 | c-Plain(0001) r-Plain(1102) a-Plain(1120),m-Plain(1010) 加工精度：±0.1°以内 ※a-Plainとc-Plainは±3.0°以内のオフ角指定可能 |
| オリフラ加工 | 任意の長さに指定可能 |
| 研磨 | <片面/両面> 鏡面仕上げ |
| 面粗さ | Ra=0.5nm以内 |
| SORI | 15μm以下 |
| BOW | 15μm以下 |
| TTV | 15μm以下 |
| サファイアインゴット仕様 | |
|---|---|
| 純度 | >99.99% |
| インゴットサイズ | 2,3,4,5,6インチ（8インチ～応相談） |
| インゴット長 | 指定可能 （50mm～250mm) |
| 結晶方位 | c-Plain(0001) r-Plain(1102) a-Plain(1120) m-Plain(1010) 加工精度：±0.1°以内 ※a-Plainとc-Plainは±3.0°以内のオフ角指定可能 |
| オリフラ加工 | 任意の長さに指定可能 |
| 研削加工 | 円筒外周、両端面 |
| サファイア単結晶の特徴 | ||
|---|---|---|
| ［優れた機械的特性］ ・高硬度 ・耐摩耗性 |  | 傷がつかない・磨り減らない (ダイヤモンドに次ぐモース硬度) |
| ［優れた熱的特性］ ・高耐熱 ・高熱伝導率 | | 融点2053℃、ステンレス並みの熱伝導率 |
| ［優れた光学的特性］ ・高い透過率 | | 紫外～赤外領域まで幅広い波長で高い透過性 |
| ［安定した化学的特性］ ・耐薬品性 ・耐プラズマ性 | | 酸やアルカリにも殆ど侵食されない プラズマ耐性は石英の約10倍 |
| ［優れた電気的特性］ ・絶縁性 ・低誘電損失 ・安定した誘電率 | | 誘電体材料としても使用可能 |
| サファイアの物性を生かしたその他の用途 | |
|---|---|
| 半導体製造装置用部品・冶具 |  窓材 |
| 光学部品 | |
| 各種窓材 | |
| 各種カバー材 | |
| 摺動・摩耗部品 | |
| 装飾品・その他 | |
◆石英ガラスやセラミックス部品に代わる高強度・耐磨耗素材を探している
◆大型・高品質のサファイア単結晶を入手したい
◆開発・実験用のテストピースが欲しい
第一通信工業（株）会津第二工場
〒969-6409
福島県大沼郡会津美里町小沢字清水久保2-5
新鶴工業団地内
TEL：0242-85-7633(代) FAX：0242-85-7679
| 単結晶育成装置 | 120kgクラス | 4台 |
| 60kgクラス | 1台 | |
| 単結晶加工装置 | コアドリルマシン | 1台 |
| 外周刃切断機 | 1台 | |
| 端面研削盤 | 1台 | |
| 円筒研削盤 | 1台 | |
| X線方位測定機 | 1台 | |
| その他 | 付帯設備・検査設備・冶具 | 1式 |
単結晶育成装置
単結晶加工装置
