RF電源 OEM-12B(ENI社)
<13.56MHz  1250W>

主要応対処置事項
1. 50Ω ダミーロードによる動作確認試験
  @フロントパネル  マニュアル操作制御による動作確認
  Aリモートアナログ電圧コントロール制御による動作確認
  BRS232C通信制御による動作確認
  C全反射出力特性試験
  D試験データ採取
  Eアナログインターフェイスのインターロック制御動作確認 
2. オーバーホール処置事項
  @経時劣化部品交換(電解コンデンサ、空冷ファン等・・・)
  A清掃整備
是非一度ご相談下さい!